Saída de vídeo-inspeção
Fornecido
Relatório de Ensaio de máquinas
Fornecido
Componentes do núcleo
PLC, Motor, Motor, Vaso de pressão, Engrenagem, Bomba
Lugar de origem
Henan, China
Dimensão (L*W*H)
440mm l * 330mm w * 455mm h
Principais Pontos de Venda
Fácil de operar
Nome do produto
Equipamento de deposição de camada atômica ald
Tamanho do palco da amostra
4-12 polegadas
Temperatura de aquecimento do substrato
RT-400; ± 1 °C
Número de precursores
4-8
Temperatura do pipeline da fonte do precursor
RT-200; ± 1 °C
Temperatura do recipiente da fonte
RT-200; ± 1 °C
Modo de deposição
Modo ast, modo de alta relação de aspecto
Velocidade nominal de bombeamento
> M3/h
Sensor de pressão
5 * 10-5torr-pressão atmosférica
